感应加热式蒸发镀膜
利用高频电磁场感应加热，使材料汽化蒸发在基片表面凝结成膜的技术。
优点蒸发速率大，可比电阻蒸发源大10倍左右 蒸发源的温度稳定，不易产生飞溅现象坩埚温度较低，坩埚材料对膜导污染较少缺点蒸发装置必须屏蔽造价高、设备复杂
在真空中，高能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够的能量而逸出表面，到达衬底凝结成膜的技术。
与真发镀膜相比，溅射镀膜适用于所有（包括高熔点）材料，具有附着力强、成分可控、易于规模化生产等优点。
但其工作气压低于蒸发镀膜，因此膜层的含气量和孔隙率大于蒸发镀膜。
其缺点是：
1）工艺比传统单色PVD的更为复杂，流程更为繁杂，生产难度高；
2）生产良率低，大约为65～70%（传统单色PVD的生产良率一般为85～90%；
3）价格会比传统单色PVD的高50～60%；
4）因工艺和流程的影响，双色PVD生产限制较多，受产品结构的影响较大，而传统单色PVD则几乎不受限制
现代涂层设备(均匀加热技术、温度测量技术、非平衡磁控溅 射技术、辅助阳极技术、中频电源、脉冲技术) 现代涂层设备主要由真空室、真空获得部分、真空测量部分、电源供给部分、工艺气体输入系统、机械传动部分、加热及测温部件、离子蒸发或溅射源、水冷系统等部分组成。电子束热源的能量密度可达104-109w/cm2，可达到3000℃以上，可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、SiO2、AL2O3等。
以上信息由专业从事金属镀钛厂家服务的金常来于2024/4/27 9:01:35发布
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